Iskorištenje čipova u industriji proizvodnje čipova usko je povezano s veličinom i brojem čestica zraka nataloženih na čipu.Dobra organizacija protoka zraka može odvesti čestice nastale iz izvora prašine dalje od čiste sobe i osigurati čistoću čiste sobe.Odnosno, organizacija protoka zraka u čistim sobama igra ključnu ulogu u prinosu proizvodnje čipsa.Ciljevi koje treba postići u projektiranju organizacije strujanja zraka u čistim prostorijama su: smanjiti ili eliminirati vrtložna strujanja u polju strujanja kako bi se izbjeglo zadržavanje štetnih čestica;za održavanje odgovarajućeg pozitivnog gradijenta tlaka kako bi se spriječila unakrsna kontaminacija.
Prema principu čiste sobe, sile koje djeluju na čestice uključuju silu mase, molekularnu silu, privlačnost između čestica, silu strujanja zraka itd.
Sila strujanja zraka: odnosi se na silu strujanja zraka uzrokovanu dovodnim i povratnim strujanjem zraka, toplinskim konvekcijskim strujanjem zraka, umjetnim miješanjem i drugim strujanjima zraka s određenom brzinom protoka za nošenje čestica.Za kontrolu ekološke tehnologije čiste sobe, sila protoka zraka je najvažniji čimbenik.
Eksperimenti su pokazali da u kretanju strujanja zraka čestice slijede strujanje zraka gotovo jednakom brzinom.Stanje čestica u zraku određeno je raspodjelom strujanja zraka.Glavni učinci protoka zraka na čestice u zatvorenom prostoru uključuju: protok zraka dovoda zraka (uključujući primarni protok zraka i sekundarni protok zraka), protok zraka i toplinsko konvekcijsko strujanje zraka uzrokovano hodanjem ljudi i utjecaj strujanja zraka na čestice uzrokovan procesnim operacijama i industrijskom opremom.Različite metode dovoda zraka, brza sučelja, operateri i industrijska oprema, inducirani fenomeni itd. u čistim sobama čimbenici su koji utječu na razinu čistoće.
1. Utjecaj načina dovoda zraka
(1) Brzina dovoda zraka
Kako bi se osigurao ujednačen protok zraka, brzina dovoda zraka u jednosmjernom protoku čiste prostorije mora biti ujednačena;mrtva zona na površini za dovod zraka mora biti mala;a pad tlaka unutar hepa filtra također mora biti ujednačen.
Brzina dovoda zraka je ujednačena: to jest, neravnomjernost protoka zraka kontrolira se unutar ±20%.
Manje je mrtvog prostora na površini za dovod zraka: ne samo da bi se trebala smanjiti ravna površina hepa okvira, već bi se, što je još važnije, trebao koristiti modularni FFU za pojednostavljenje redundantnog okvira.
Kako bi se osiguralo da je strujanje zraka okomito i jednosmjerno, odabir pada tlaka filtra također je vrlo važan, a potrebno je da gubitak tlaka unutar filtra ne može biti pristran.
(2) Usporedba FFU sustava i sustava ventilatora s aksijalnim protokom
FFU je jedinica za dovod zraka s ventilatorom i hepa filtrom.Zrak se usisava pomoću centrifugalnog ventilatora FFU i pretvara dinamički tlak u statički tlak u zračnom kanalu.Ravnomjerno ga ispuhuje hepa filter.Tlak dovoda zraka na strop je podtlak.Na taj način prašina neće curiti u čistu prostoriju prilikom zamjene filtra.Eksperimenti su pokazali da je FFU sustav superiorniji od sustava ventilatora s aksijalnim protokom u pogledu ujednačenosti izlaza zraka, paralelizma strujanja zraka i indeksa učinkovitosti ventilacije.To je zato što je paralelizam protoka zraka FFU sustava bolji.Korištenje FFU sustava može poboljšati organizaciju protoka zraka u čistoj prostoriji.
(3) Utjecaj vlastite strukture FFU
FFU se uglavnom sastoji od ventilatora, filtara, vodiča za protok zraka i drugih komponenti.Hepa filtar najvažnije je jamstvo za čistu sobu kako bi se postigla potrebna čistoća koju zahtijeva dizajn.Materijal filtra također će utjecati na jednolikost polja protoka.Kada se grubi filtarski materijal ili ploča za protok dodaju izlazu filtra, polje izlaznog protoka može se lako učiniti ujednačenim.
2. Utjecaj brzine sučelja s različitom čistoćom
U istoj čistoj prostoriji, između radnog područja i neradnog područja s vertikalnim jednosmjernim strujanjem, zbog razlike u brzini zraka u hepa kutiji, pojavit će se mješoviti efekt vrtloga na sučelju, a ovo sučelje će postati turbulentno zona strujanja zraka.Intenzitet turbulencije zraka je posebno jak, a čestice se mogu prenijeti na površinu stroja opreme i kontaminirati opremu i ploče.
3. Utjecaj na osoblje i opremu
Kada je čista soba prazna, karakteristike protoka zraka u prostoriji općenito zadovoljavaju zahtjeve dizajna.Nakon što oprema uđe u čistu sobu, ljudi se pomaknu i proizvodi se transportiraju, neizbježno postoje prepreke organizaciji protoka zraka, poput oštrih vrhova koji strše iz stroja opreme.Na uglovima ili rubovima, plin će skrenuti i formirati turbulentno područje protoka, a tekućinu u tom području neće lako odnijeti nadolazeći plin, uzrokujući tako zagađenje.
U isto vrijeme, površina mehaničke opreme bit će zagrijana zbog kontinuiranog rada, a temperaturni gradijent će uzrokovati područje reflowa u blizini stroja, što povećava nakupljanje čestica u području reflowa.U isto vrijeme, visoka temperatura lako će uzrokovati da čestice pobjegnu.Dvostruki učinak intenzivira cjelokupni okomiti sloj.Poteškoće u kontroli čistoće potoka.Prašina od operatera u čistim sobama može se lako zalijepiti za vafle u tim područjima reflowa.
4. Utjecaj poda povratnog zraka
Kada je otpor povratnog zraka koji prolazi kroz pod različit, doći će do razlike tlaka, uzrokujući strujanje zraka u smjeru malog otpora, te se neće postići ravnomjeran protok zraka.Trenutno popularna metoda projektiranja je korištenje povišenog poda.Kada je omjer otvora povišenog poda 10%, brzina strujanja zraka može se ravnomjerno rasporediti na unutarnju radnu visinu.Osim toga, strogu pozornost treba posvetiti čišćenju kako bi se smanjio izvor onečišćenja na podu.
5. Fenomen indukcije
Takozvani fenomen indukcije odnosi se na pojavu generiranja strujanja zraka u suprotnom smjeru od jednoličnog strujanja, potičući prašinu koja se stvara u prostoriji ili prašinu u susjednim kontaminiranim područjima na stranu vjetra, uzrokujući tako prašinu da kontaminira pločicu.Mogući inducirani fenomeni uključuju sljedeće:
(1) Slijepa ploča
U čistoj prostoriji s okomitim jednosmjernim strujanjem, zbog spojeva na zidu, uglavnom postoje velike slijepe ploče koje će proizvesti turbulentno strujanje i lokalno povratno strujanje.
(2) Svjetiljke
Rasvjetna tijela u čistim sobama imat će veći utjecaj.Budući da toplina fluorescentne svjetiljke uzrokuje povećanje protoka zraka, fluorescentna svjetiljka neće postati turbulentno područje.Općenito, svjetiljke u čistim sobama dizajnirane su u obliku suze kako bi se smanjio utjecaj svjetiljki na organizaciju protoka zraka.
(3) Praznine između zidova
Kada postoje praznine između pregradnih zidova ili stropova s različitim zahtjevima za čistoćom, prašina iz područja s niskim zahtjevima za čistoćom može se prenijeti u susjedna područja s visokim zahtjevima za čistoćom.
(4) Udaljenost između mehaničke opreme i poda ili zida
Ako je razmak između mehaničke opreme i poda ili zida mali, doći će do povratne turbulencije.Stoga ostavite razmak između opreme i zida i podignite platformu stroja kako biste izbjegli izravan kontakt s tlom.
Vrijeme objave: 2. studenog 2023