Prinos čipa u industriji proizvodnje čipova usko je povezan s veličinom i brojem čestica zraka pohranjenih na čipu. Dobra organizacija protoka zraka može oduzeti čestice generirane iz izvora prašine iz čiste sobe i osigurati čistoću čiste sobe. Odnosno, organizacija protoka zraka u čistoj sobi igra vitalnu ulogu u prinosu proizvodnje čipova. Ciljevi koje treba postići u dizajnu organizacije čistog protoka zraka jesu: smanjiti ili ukloniti vrtložne struje u polju protoka kako bi se izbjeglo zadržavanje štetnih čestica; održavati odgovarajući gradijent pozitivnog tlaka kako bi se spriječilo unakrsnu kontaminaciju.
Prema principu čiste sobe, sile koje djeluju na čestice uključuju masnu silu, molekularne sile, privlačnost između čestica, sile protoka zraka itd.
Sila protoka zraka: odnosi se na silu protoka zraka uzrokovanog protokom zraka i povratnog zraka, toplinskom konvekcijskom protokom zraka, umjetnom agitacijom i drugim protocima zraka s određenim brzinom protoka za nošenje čestica. Za kontrolu okolišne tehnologije čiste sobe, sila protoka zraka je najvažniji faktor.
Eksperimenti su pokazali da u kretanju protoka zraka čestice slijede protok zraka gotovo istom brzinom. Stanje čestica u zraku određuje se raspodjelom protoka zraka. Glavni učinci protoka zraka na zatvorene čestice uključuju: protok zraka za napajanje zraka (uključujući primarni protok zraka i sekundarni protok zraka), protok zraka i toplinski konvekcijski protok zraka uzrokovan ljudima koji hodaju, te utjecaj protoka zraka na čestice uzrokovane procesom i industrijskom opremom. Različite metode opskrbe zrakom, brzina sučelja, operatori i industrijska oprema, izazvane pojave itd. U čistoći su svi faktori koji utječu na razinu čistoće.
1. Utjecaj metode opskrbe zrakom
(1) Brzina napajanja zraka
Da bi se osigurao jednolični protok zraka, brzina opskrbe zrakom u jednosmjernoj sobi za čistu protoku mora biti ujednačena; Mrtva zona na površini za opskrbu zrakom mora biti mala; a pad tlaka unutar HEPA filtra također mora biti ujednačen.
Brzina napajanja zraka je ujednačena: to jest, neravnomjernost protoka zraka kontrolira se unutar ± 20%.
Na površini za dovod zraka ima manje mrtvog prostora: ne samo da bi se trebalo smanjiti ravnina HEPA okvira, već je još važnije, modularni FFU treba upotrijebiti za pojednostavljenje suvišnog okvira.
Kako bi se osiguralo da je protok zraka vertikalan i jednosmjeran, odabir pada tlaka također je vrlo važan, a potrebno je da gubitak tlaka unutar filtra ne može biti pristran.
(2) Usporedba između sustava FFU i ventilatora aksijalnog protoka
FFU je jedinica za napajanje zraka s ventilatorom i HEPA filterom. Zrak usisava centrifugalni ventilator FFU -a i pretvara dinamički tlak u statički tlak u zračnom kanalu. Ujednačeno ga je puhao hepa filter. Tlak dovoda zraka na stropu je negativan tlak. Na ovaj način nijedna prašina neće procuriti u čistu sobu prilikom zamjene filtra. Eksperimenti su pokazali da je FFU sustav superiorniji od ventilatora aksijalnog protoka u smislu jednoličnosti zraka, paralelizma protoka zraka i indeksa učinkovitosti ventilacije. To je zato što je paralelizam protoka zraka FFU sustava bolji. Upotreba sustava FFU može poboljšati organizaciju protoka zraka u čistoj sobi.
(3) Utjecaj vlastite strukture FFU -a
FFU se uglavnom sastoji od ventilatora, filtera, vodiča za protok zraka i drugih komponenti. HEPA filter najvažnije je jamstvo za čistu sobu za postizanje potrebne čistoće koja je potrebna dizajnom. Materijal filtra također će utjecati na ujednačenost polja protoka. Kad se u izlaz filtra dodaje grubi materijal za filtriranje ili protočna ploča, polje protoka izlaza može se lako napraviti jednolično.
2. Utjecaj sučelja brzine s različitom čistoćom
U istoj čistoj sobi, između radnog područja i neradnog područja s vertikalnim jednosmjernim protokom, zbog razlike u brzini zraka u HEPA kutiji, na sučelju će se pojaviti miješani vrtlog, a ovo će sučelje postati turbulentno Zona protoka zraka. Intenzitet zračne turbulencije je posebno jak, a čestice se mogu prenijeti na površinu strojeva za opremu i kontaminirati opremu i rezine.
3. Utjecaj na osoblje i opremu
Kad je čista soba prazna, karakteristike protoka zraka u sobi uglavnom ispunjavaju zahtjeve za dizajnom. Jednom kada oprema uđe u čistu sobu, ljudi se kreću, a proizvodi se prevoze, neizbježno su prepreke organizaciji protoka zraka, poput oštrih točaka koje strše iz strojeva za opremu. Na uglovima ili rubovima plin će se preusmjeriti kako bi tvorio turbulentno područje protoka, a tekućinu u tom području neće se lako nositi od dolaznog plina, uzrokujući tako zagađenje.
Istodobno, površina mehaničke opreme zagrijavat će se zbog kontinuiranog rada, a temperaturni gradijent uzrokovat će područje ponovnog pojačanja u blizini stroja, što povećava akumulaciju čestica u području ponovnog relupa. Istodobno, visoka temperatura lako će uzrokovati da čestice pobjegnu. Dvostruki učinak pojačava ukupni vertikalni sloj. Poteškoća u kontroli čistoće struje. Prašina od operatera u čistoj sobi može se lako pridržavati vafera u tim područjima.
4. Utjecaj podova povratnog zraka
Kad je otpor povratnog zraka koji prolazi kroz pod različit, pojavit će se razlika tlaka, što uzrokuje da zrak teče u smjeru malog otpora, a ujednačeni protok zraka neće se dobiti. Trenutna popularna metoda dizajna je korištenje povišenog poda. Kada je omjer otvaranja povišenog poda na 10%, brzina protoka zraka može se ravnomjerno rasporediti na unutarnjoj radnoj visini. Osim toga, strogu pažnju treba obratiti na rad čišćenja kako bi se smanjio izvor onečišćenja na podu.
5. Indukcijski fenomen
Takozvani indukcijski fenomen odnosi se na fenomen stvaranja protoka zraka u suprotnom smjeru od ujednačenog protoka, inducirajući prašinu stvorenu u sobi ili prašini u susjednim kontaminiranim područjima na stranu uzgajanja, što uzrokuje da prašina kontaminira rez. Moguće inducirane pojave uključuju sljedeće:
(1) Slijepa ploča
U čistoj sobi s okomitim jednosmjernim protokom, zbog spojeva na zidu, uglavnom postoje velike slijepe ploče koje će proizvesti turbulentni protok i lokalni povratni tok.
(2) svjetiljke
Rasvjetna tijela u čistoj sobi imat će veći utjecaj. Budući da toplina fluorescentne svjetiljke uzrokuje porast protoka zraka, fluorescentna svjetiljka neće postati turbulentno područje. Općenito, svjetiljke u čistoj sobi dizajnirane su u obliku suza kako bi se smanjio utjecaj svjetiljki na organizaciju protoka zraka.
(3) praznine između zidova
Kada postoje praznine između zidova ili stropova s različitim zahtjevima čistoće, prašina s područja s niskim zahtjevima čistoće može se prenijeti u susjedna područja s visokim zahtjevima za čistoćom.
(4) Udaljenost između mehaničke opreme i poda ili zida
Ako je jaz između mehaničke opreme i poda ili zida mali, pojavit će se turbulencija odbijanja. Stoga ostavite jaz između opreme i zida i podignite platformu stroja kako biste izbjegli izravan kontakt s tlom.
Post Vrijeme: NOV-02-2023