Stopa prinosa čipa u proizvodnoj industriji IC -a usko je povezana s veličinom i brojem čestica zraka pohranjenih na čipu. Dobra organizacija protoka zraka može oduzeti čestice koje je stvorio izvor prašine daleko od čiste sobe kako bi se osigurala čistoća čiste sobe, odnosno organizacija protoka zraka u čistoj sobi igra vitalnu ulogu u brzini prinosa proizvodnje IC -a. Dizajn organizacije protoka zraka u čistoj sobi mora postići sljedeće ciljeve: smanjiti ili ukloniti vrtložnu struju u polju protoka kako biste izbjegli zadržavanje štetnih čestica; Održavajte odgovarajući gradijent pozitivnog tlaka kako biste spriječili unakrsnu kontaminaciju.
Sila protoka zraka
Prema principu čiste sobe, sile koje djeluju na čestice uključuju masovnu silu, molekularnu silu, privlačnost između čestica, sile protoka zraka itd.
Sila protoka zraka: odnosi se na silu protoka zraka uzrokovanog isporukom, protokom zraka, toplinskom konvekcijskom protokom zraka, umjetnim miješanjem i drugim protocima zraka s određenom brzinom protoka za nošenje čestica. Za tehničku kontrolu okruženja čistog sobe, sila protoka zraka je najvažniji faktor.
Eksperimenti su pokazali da u kretanju protoka zraka čestice slijede kretanje protoka zraka gotovo istom brzinom. Stanje čestica u zraku određuje se raspodjelom protoka zraka. Protoci zraka koji utječu na zatvorene čestice uglavnom uključuju: protok zraka za napajanje zraka (uključujući primarni protok zraka i sekundarni protok zraka), protok zraka i toplinsku konvekcijsku konvekciju uzrokovan ljudima koji hodaju, te protok zraka uzrokovan radom procesa i industrijskom opremom. Različite metode opskrbe zrakom, brzina sučelja, operatori i industrijska oprema, te inducirani pojave u čistim sobama, svi su čimbenici koji utječu na razinu čistoće.
Čimbenici koji utječu na organizaciju protoka zraka
1. Utjecaj metode opskrbe zrakom
(1). Brzina opskrbe zrakom
Da bi se osigurao ujednačen protok zraka, brzina opskrbe zrakom mora biti ujednačena u jednolodnoj čistoj sobi; Mrtva zona površine za opskrbu zrakom mora biti mala; a pad tlaka u ULPA također mora biti ujednačen.
Ujednačena brzina opskrbe zrakom: to jest, neravnomjernost protoka zraka kontrolira se unutar ± 20%.
Manje mrtve zone na površini za opskrbu zrakom: ne samo da bi se trebala smanjiti ravnina okvira ULPA, već je još važnije, modularni FFU treba usvojiti za pojednostavljenje suvišnog okvira.
Da bi se osigurao vertikalni jednosmjerni protok zraka, odabir pada tlaka također je vrlo važan, što zahtijeva da gubitak tlaka u filtru ne može odstupiti.
(2). Usporedba između FFU sustava i sustava ventilatora aksijalnog protoka
FFU je jedinica za napajanje zraka s ventilatorom i filtrom (ULPA). Nakon što je zrak usisan centrifugalni ventilator FFU -a, dinamički tlak se pretvara u statički tlak u zračnom kanalu i ravnomjerno se puše u ULPA. Tlak dovoda zraka na stropu je negativan tlak, tako da nijedna prašina neće procuriti u čistu sobu kada se filter zamijeni. Eksperimenti su pokazali da je sustav FFU -a superiorniji od ventilatora aksijalnog protoka u smislu uniformnosti zraka, paralelizma protoka zraka i indeksa učinkovitosti ventilacije. To je zato što je paralelizam protoka zraka FFU sustava bolji. Upotreba sustava FFU može poboljšati protok zraka u čistoj sobi.
(3). Utjecaj vlastite strukture FFU -a
FFU se uglavnom sastoji od ventilatora, filtera, uređaja za vodič za protok zraka i drugih komponenti. Ultra-visoki filter za učinkovitost ULPA najvažnije je jamstvo može li čista soba postići potrebnu čistoću dizajna. Materijal filtra također će utjecati na ujednačenost polja protoka. Kad se u izlaz filtra dodaje grubi materijal za filtriranje ili laminarna protočna ploča, polje protoka izlaznog protoka može se lako napraviti jednolično.
2. Utjecaj različitih sučelja čistoće brzine
U istoj čistoj sobi, između radnog područja i neradnog područja vertikalnog jednosmjernog protoka, zbog razlike u brzini zraka na ULPA utičnici, na sučelju će se generirati miješani vrtlog, a ovo će sučelje postati turbulentno Zona protoka zraka s posebno visokim intenzitetom turbulencije zraka. Čestice se mogu prenijeti na površinu opreme i kontaminirati opremu i rezine.
3. Utjecaj osoblja i opreme
Kad je čista soba prazna, karakteristike protoka zraka u sobi uglavnom ispunjavaju zahtjeve za dizajnom. Nakon što oprema uđe u čistu sobu, prenosi se osoblje i proizvodi, neizbježno će biti prepreka organizaciji protoka zraka. Na primjer, u izbočenim uglovima ili rubovima opreme, plin će biti preusmjeren da tvori turbulentnu zonu, a tekućina u zoni plin se ne može lako oduzeti, uzrokujući tako zagađenje. Istodobno, površina opreme će se zagrijavati zbog kontinuiranog rada, a temperaturni gradijent uzrokovat će zonu relupa u blizini stroja, što će povećati nakupljanje čestica u zoni reflow. Istodobno, visoka temperatura lako će uzrokovati da čestice pobjegnu. Dvostruki učinak pogoršava poteškoće u kontroli ukupne vertikalne laminarne čistoće. Prašina od operatera u čistoj sobi vrlo je lako pridržavati se vafera u ovim zonama republike.
4. Utjecaj podova povratnog zraka
Kad je otpor povratnog zraka koji prolazi kroz pod različit, stvorit će se razlika tlaka, tako da će zrak teći u smjeru manjeg otpora, a ujednačeni protok zraka neće biti dobiven. Trenutna popularna metoda dizajna je korištenje povišenih podova. Kad je brzina otvaranja povišenih podova 10%, brzina protoka zraka u radnoj visini sobe može se ravnomjerno rasporediti. Osim toga, strogu pažnju treba posvetiti čišćenju rada kako bi se smanjio izvor zagađenja poda.
5. Indukcijski fenomen
Takozvani indukcijski fenomen odnosi se na fenomen da se stvara protok zraka u suprotnom smjeru ujednačenog protoka, a prašina nastala u sobi ili prašina u susjednom kontaminiranom području inducirana je na stranu uzdinu može kontaminirati čip. Slijede moguće indukcijske pojave:
(1). Slijepa ploča
U čistoj sobi s vertikalnim jednosmjernim protokom, zbog zglobova na zidu, uglavnom postoje velike slijepe ploče koje će stvoriti turbulenciju u lokalnom povratnom toku.
(2). Svjetiljke
Rasvjetna tijela u čistoj sobi imat će veći utjecaj. Budući da toplina fluorescentnih svjetiljki uzrokuje porast protoka zraka, pod fluorescentnim svjetiljkama neće biti turbulentnog područja. Općenito, svjetiljke u čistoj sobi dizajnirane su u obliku suza kako bi se smanjio utjecaj svjetiljki na organizaciju protoka zraka.
(3.) praznine između zidova
Kada postoje praznine između pregrada s različitim razinama čistoće ili između pregrada i stropova, prašina s područja s niskim zahtjevima čistoće može se prenijeti na susjedno područje s visokim zahtjevima čistoće.
(4). Udaljenost između stroja i poda ili zida
Ako je jaz između stroja i poda ili zida vrlo mali, to će izazvati turbulenciju odbijanja. Stoga ostavite jaz između opreme i zida i podignite stroj kako biste izbjegli da se stroj izravno dodirne tlo.
Post Vrijeme: veljače-05-2025