Zaštiti okoliša posvećuje se sve više pažnje, posebno s porastom maglovitog vremena. Inženjering čistih soba jedna je od mjera zaštite okoliša. Kako koristiti inženjering čistih soba za dobar posao u zaštiti okoliša? Razgovarajmo o kontroli u inženjeringu čistih soba.
Kontrola temperature i vlažnosti u čistoj sobi
Temperatura i vlažnost čistih prostora uglavnom se određuju na temelju procesnih zahtjeva, ali pri ispunjavanju procesnih zahtjeva treba uzeti u obzir ljudsku udobnost. S poboljšanjem zahtjeva za čistoću zraka, postoji trend strožih zahtjeva za temperaturu i vlažnost u procesu.
Kao općenito načelo, zbog sve veće preciznosti obrade, zahtjevi za rasponom temperaturnih fluktuacija postaju sve manji i manji. Na primjer, u procesu litografije i ekspozicije u proizvodnji integriranih krugova velikih razmjera, razlika u koeficijentu toplinskog širenja između staklenih i silicijskih pločica koje se koriste kao materijali za maske postaje sve manja.
Silicijska pločica promjera 100 μm uzrokuje linearno širenje od 0,24 μm kada temperatura poraste za 1 stupanj. Stoga je potrebna konstantna temperatura od ± 0,1 ℃, a vrijednost vlažnosti je općenito niska jer će se proizvod kontaminirati znojenjem, posebno u radionicama za poluvodiče koje se boje natrija. Ova vrsta radionice ne bi trebala prelaziti 25 ℃.
Prekomjerna vlažnost uzrokuje više problema. Kada relativna vlažnost prijeđe 55%, kondenzacija će se stvarati na stijenci cijevi za hlađenje. Ako se pojavi u preciznim uređajima ili krugovima, može uzrokovati razne nezgode. Kada je relativna vlažnost 50%, lako hrđa. Osim toga, kada je vlažnost previsoka, prašina koja se lijepi za površinu silicijske pločice kemijski će se adsorbirati na površinu putem molekula vode u zraku, što je teško ukloniti.
Što je veća relativna vlažnost, to je teže ukloniti adheziju. Međutim, kada je relativna vlažnost ispod 30%, čestice se također lako adsorbiraju na površinu zbog djelovanja elektrostatske sile, a veliki broj poluvodičkih uređaja sklon je kvaru. Optimalni temperaturni raspon za proizvodnju silicijskih pločica je 35-45%.
Tlak zrakakontroliratiu čistoj sobi
Za većinu čistih prostora, kako bi se spriječilo prodiranje vanjskog onečišćenja, potrebno je održavati unutarnji tlak (statički tlak) višim od vanjskog tlaka (statičkog tlaka). Održavanje razlike tlaka općenito treba biti u skladu sa sljedećim načelima:
1. Tlak u čistim prostorima trebao bi biti viši nego u nečistim prostorima.
2. Tlak u prostorima s visokom razinom čistoće trebao bi biti viši nego u susjednim prostorima s niskom razinom čistoće.
3. Vrata između čistih soba trebaju se otvarati prema sobama s visokom razinom čistoće.
Održavanje razlike tlaka ovisi o količini svježeg zraka, koji bi trebao biti u stanju kompenzirati propuštanje zraka iz praznine pod tom razlikom tlaka. Dakle, fizičko značenje razlike tlaka je otpor propuštanju (ili infiltraciji) protoka zraka kroz različite praznine u čistoj sobi.
Vrijeme objave: 21. srpnja 2023.