Zaštiti okoliša posvećuje se sve više pozornosti, posebice s povećanjem sumaglice. Inženjering čistih soba jedna je od mjera zaštite okoliša. Kako koristiti inženjering čistih soba za dobar posao u zaštiti okoliša? Razgovarajmo o upravljanju u inženjerstvu čistih soba.
Kontrola temperature i vlažnosti u čistoj prostoriji
Temperatura i vlažnost čistih prostora uglavnom se određuju na temelju zahtjeva procesa, ali pri ispunjavanju zahtjeva procesa treba uzeti u obzir ljudsku udobnost. S poboljšanjem zahtjeva za čistoćom zraka, postoji trend strožih zahtjeva za temperaturu i vlažnost u procesu.
Općenito, zbog sve veće preciznosti obrade, zahtjevi za raspon temperaturnih fluktuacija postaju sve manji. Na primjer, u procesu litografije i eksponiranja velike proizvodnje integriranih sklopova, razlika u koeficijentu toplinskog širenja između staklenih i silikonskih pločica koje se koriste kao materijali maske postaje sve manja.
Silicijska pločica promjera 100 μm uzrokuje linearno širenje od 0,24 μm kada temperatura poraste za 1 stupanj. Stoga je potrebna stalna temperatura od ± 0,1 ℃, a vrijednost vlažnosti općenito je niska jer će nakon znojenja proizvod biti kontaminiran, posebno u radionicama poluvodiča koje se boje natrija. Ova vrsta radionice ne smije prelaziti 25 ℃.
Pretjerana vlaga uzrokuje više problema. Kada relativna vlažnost prijeđe 55%, kondenzat će se stvoriti na stijenci cijevi za rashladnu vodu. Ako se dogodi u preciznim uređajima ili strujnim krugovima, može izazvati razne nesreće. Kada je relativna vlažnost zraka 50%, lako hrđa. Osim toga, kada je vlažnost previsoka, prašina koja se zalijepila za površinu silicijske pločice kemijski će se adsorbirati na površini kroz molekule vode u zraku, što je teško ukloniti.
Što je veća relativna vlažnost zraka, to je teže ukloniti prianjanje. Međutim, kada je relativna vlažnost zraka ispod 30%, čestice se također lako adsorbiraju na površini zbog djelovanja elektrostatske sile, pa je veliki broj poluvodičkih elemenata sklon kvaru. Optimalni temperaturni raspon za proizvodnju silicijskih pločica je 35-45%.
Tlak zrakakontroliratiu čistoj sobi
Za većinu čistih prostora, kako bi se spriječilo prodiranje vanjskog onečišćenja, potrebno je održavati unutarnji tlak (statički tlak) višim od vanjskog tlaka (statički tlak). Održavanje razlike tlaka općenito treba biti u skladu sa sljedećim načelima:
1. Tlak u čistim prostorima treba biti viši od onog u nečistim prostorima.
2. Tlak u prostorima s visokom razinom čistoće treba biti viši od onog u susjednim prostorima s niskom razinom čistoće.
3. Vrata između čistih soba trebaju biti otvorena prema sobama s visokim stupnjem čistoće.
Održavanje razlike tlaka ovisi o količini svježeg zraka, koja bi trebala biti u stanju kompenzirati istjecanje zraka iz raspora pod ovom razlikom tlaka. Dakle, fizičko značenje razlike tlaka je otpor curenja (ili infiltracije) protoka zraka kroz različite otvore u čistoj prostoriji.
Vrijeme objave: 21. srpnja 2023