Zaštita okoliša posvećuje se sve više i više pažnje, posebno s povećanjem vremena izmaglice. Inženjering čiste sobe jedna je od mjera zaštite okoliša. Kako koristiti inženjering čiste sobe za dobar posao u zaštiti okoliša? Razgovarajmo o kontroli u inženjerstvu čiste sobe.
Kontrola temperature i vlage u čistoj sobi
Temperatura i vlaga čistih prostora uglavnom se određuju na temelju zahtjeva procesa, ali prilikom ispunjavanja zahtjeva za procesom, ljudsku udobnost treba uzeti u obzir. S poboljšanjem zahtjeva za čistoćom zraka, postoji trend strožih zahtjeva za temperaturom i vlagom u procesu.
Kao općenito, zbog sve veće preciznosti obrade, zahtjevi za raspon fluktuacije temperature postaju sve manji i manji. Na primjer, u procesu litografije i izlaganja velike integrirane proizvodnje kruga, razlika u koeficijentu toplinske ekspanzije između staklenih i silikonskih rezina koji se koriste kao materijali za maski postaju sve manji.
Silikonski rez s promjerom od 100 µm uzrokuje linearnu ekspanziju od 0,24 µm kada se temperatura poveća za 1 stupanj. Stoga je potrebna konstantna temperatura od ± 0,1 ℃, a vrijednost vlage uglavnom je niska jer će nakon znojenja proizvod biti kontaminirani, posebno u poluvodičkim radionicama koje se boje natrija. Ova vrsta radionice ne smije prelaziti 25 ℃.
Prekomjerna vlaga uzrokuje više problema. Kad relativna vlaga prelazi 55%, kondenzacija će se formirati na zidu cijevi za hlađenje vode. Ako se javlja u preciznim uređajima ili krugovima, može uzrokovati razne nesreće. Kad je relativna vlaga 50%, lako je hrđati. Osim toga, kada je vlaga previsoka, prašina koja se pridržava površine silikonskog reza kemijski će se adsorbirati na površini kroz molekule vode u zraku, što je teško ukloniti.
Što je veća relativna vlaga, to je teže ukloniti adheziju. Međutim, kada je relativna vlaga ispod 30%, čestice se također lako adsorbiraju na površini zbog djelovanja elektrostatičke sile, a veliki broj poluvodičkih uređaja sklon je raspadu. Optimalni temperaturni raspon za proizvodnju silikonskih rezina je 35-45%.
Tlak zrakakontroliratiu čistoj sobi
Za većinu čistih prostora, kako bi se spriječilo da vanjsko zagađenje invazije, potrebno je održavati unutarnji tlak (statički tlak) veći od vanjskog tlaka (statički tlak). Održavanje razlike u tlaku općenito bi trebalo biti u skladu s sljedećim principima:
1. Tlak u čistim prostorima trebao bi biti veći od onog u ne -čistim prostorima.
2. Tlak u prostorima s visokom razinom čistoće trebao bi biti veći od onog u susjednim prostorima s niskom razinom čistoće.
3. Vrata između čistih soba trebaju se otvoriti prema sobama s visokom razinom čistoće.
Održavanje tlačne razlike ovisi o količini svježeg zraka, koja bi trebala biti u stanju nadoknaditi curenje zraka iz praznine pod ovom tlakom. Dakle, fizičko značenje razlika tlaka je otpor propuštanja (ili infiltracije) protoka zraka kroz različite praznine u čistoj sobi.
Post Vrijeme: srpnja-21-2023