1. Unutar čiste sobe treba postaviti različite vrste prostorija za skladištenje i distribuciju kemikalija na temelju zahtjeva proizvodnog procesa i fizikalnih i kemijskih svojstava kemikalije. Za opskrbu proizvodnom opremom potrebnim kemikalijama treba koristiti cjevovode. Prostorije za skladištenje i distribuciju kemikalija unutar čiste sobe obično se nalaze u pomoćnom proizvodnom prostoru, obično u prizemlju jednokatnice ili višekatnice, blizu vanjskog zida. Kemikalije treba skladištiti odvojeno prema njihovim fizikalnim i kemijskim svojstvima. Nekompatibilne kemikalije treba smjestiti u odvojene prostorije za skladištenje i distribuciju kemikalija, odvojene čvrstim pregradama. Opasne kemikalije treba skladištiti u odvojenim skladišnim ili distribucijskim prostorijama s vatrootpornošću od najmanje 2,0 sata između susjednih prostorija. Ove prostorije trebaju se nalaziti u prostoriji na prvom katu proizvodne zgrade, blizu vanjskog zida.
2. Čiste sobe u elektroničkoj industriji često imaju skladišne i distribucijske prostorije za kiseline i lužine, kao i za zapaljiva otapala. Skladišne i distribucijske prostorije za kiseline obično sadrže sustave za skladištenje i distribuciju sumporne kiseline, fosforne kiseline, fluorovodične kiseline i klorovodične kiseline. Skladišne i distribucijske prostorije za lužine obično sadrže sustave za skladištenje i distribuciju natrijevog hidroksida, hidroksidnog kolača, amonijevog hidroksida i tetrametilamonijevog hidroksida. Skladišne i distribucijske prostorije za zapaljiva otapala obično sadrže sustave za skladištenje i distribuciju organskih otapala kao što je izopropilni alkohol (IPA). Čiste sobe u tvornicama za proizvodnju integriranih pločica također imaju skladišne i distribucijske prostorije za polirnu suspenziju. Skladišne i distribucijske prostorije za kemikalije obično se nalaze u pomoćnim proizvodnim ili potpornim prostorima u blizini ili uz čiste proizvodne prostore, obično na prvom katu s izravnim pristupom vanjskom prostoru.
3. Prostorije za skladištenje i distribuciju kemikalija opremljene su bačvama ili spremnicima za skladištenje različitih kapaciteta, ovisno o vrsti, količini i karakteristikama upotrebe kemikalija potrebnih za proizvodnju proizvoda. Prema standardima i propisima, kemikalije treba skladištiti odvojeno i klasificirati. Kapacitet bačvi ili spremnika koji se koriste trebao bi biti dovoljan za sedmodnevnu potrošnju kemikalija. Također treba osigurati dnevne bačve ili spremnike, s kapacitetom dovoljnim za pokrivanje 24-satne potrošnje kemikalija potrebnih za proizvodnju proizvoda. Prostorije za skladištenje i distribuciju zapaljivih otapala i oksidirajućih kemikalija trebaju biti odvojene i odvojene od susjednih prostorija čvrstim vatrootpornim zidovima s vatrootpornošću od 3,0 sata. Ako se nalaze na prvom katu višekatnice, trebaju biti odvojene od ostalih područja nezapaljivim podovima s vatrootpornošću od najmanje 1,5 sati. Centralizirana kontrolna soba za kemijsku sigurnost i sustav nadzora unutar čiste sobe treba biti smještena u zasebnoj prostoriji.
4. Visina prostorija za skladištenje i distribuciju kemikalija unutar čiste sobe treba se odrediti na temelju zahtjeva za opremu i raspored cijevi i općenito ne smije biti manja od 4,5 metara. Ako se nalazi unutar pomoćnog proizvodnog prostora čiste sobe, visina prostorije za skladištenje i distribuciju kemikalija treba biti u skladu s visinom zgrade.
Vrijeme objave: 01.08.2025.