Uz strogu kontrolu čestica, elektroničke čiste sobe predstavljene radionicama za proizvodnju čipova, radionicama za integrirane krugove bez prašine i radionicama za proizvodnju diskova također imaju strože zahtjeve za kontrolu temperature i vlažnosti, osvjetljenje i mikro-šokove. Strogo uklonite utjecaj statičkog elektriciteta na proizvodne proizvode, tako da okoliš može zadovoljiti zahtjeve proizvodnog procesa elektroničkih proizvoda u čistom okolišu.
Temperaturu i vlažnost elektroničke čiste sobe treba odrediti prema zahtjevima proizvodnog procesa. Kada nema posebnih zahtjeva za proizvodni proces, temperatura može biti 20-26°C, a relativna vlažnost zraka 30%-70%. Temperatura čiste sobe za osoblje i dnevne sobe može biti 16-28 ℃. Prema kineskom nacionalnom standardu GB-50073, koji je u skladu s međunarodnim ISO standardima, razina čistoće ove vrste čistih soba je 1-9. Među njima, klasa 1-5, uzorak strujanja zraka je jednosmjerno strujanje ili miješano strujanje; uzorak strujanja zraka klase 6 je nejednosmjeran protok i izmjena zraka je 50-60 puta/h; tip protoka zraka klase 7 je nejednosmjerni protok, a izmjena zraka je 15-25 puta/h; klasa 8-9 tip protoka zraka je nejednosmjerni protok, izmjena zraka je 10-15 puta/h.
Prema trenutnim specifikacijama, razina buke unutar elektroničke čiste sobe klase 10.000 ne smije biti veća od 65 dB(A).
1. Puni omjer vertikalnog protoka čiste sobe u elektroničkoj čistoj sobi ne smije biti manji od 60%, a horizontalni jednosmjerni protok čiste sobe ne smije biti manji od 40%, inače će to biti djelomični jednosmjerni protok.
2. Statička razlika tlaka između elektroničke čiste sobe i vanjskog prostora ne smije biti manja od 10Pa, a statička razlika tlaka između čistih područja i nečistih područja s različitom čistoćom zraka ne smije biti manja od 5Pa.
3. Količina svježeg zraka u elektroničkoj čistoj sobi klase 10000 trebala bi imati vrijednost sljedeće dvije stavke.
4. Kompenzirajte zbroj unutarnjeg volumena ispušnog zraka i volumena svježeg zraka potrebnog za održavanje vrijednosti pozitivnog tlaka unutarnjeg prostora.
5. Osigurajte da količina svježeg zraka koja se dovodi u čistu sobu po osobi po satu nije manja od 40 četvornih metara.
Vrijeme objave: 8. travnja 2024