Osim stroge kontrole čestica, elektroničke čiste sobe koje predstavljaju radionice za proizvodnju čipova, radionice bez prašine za integrirane krugove i radionice za proizvodnju diskova također imaju strože zahtjeve za kontrolu temperature i vlažnosti, osvjetljenja i mikroudara. Strogo se uklanja utjecaj statičkog elektriciteta na proizvodne proizvode, tako da okruženje može ispuniti zahtjeve proizvodnog procesa elektroničkih proizvoda u čistom okruženju.
Temperatura i vlažnost elektroničke čiste sobe trebaju se odrediti prema zahtjevima proizvodnog procesa. Kada ne postoje specifični zahtjevi za proizvodni proces, temperatura može biti 20-26 °C, a relativna vlažnost 30%-70%. Temperatura čiste sobe za osoblje i dnevnog boravka može biti 16-28 ℃. Prema kineskom nacionalnom standardu GB-50073, koji je u skladu s međunarodnim ISO standardima, razina čistoće ove vrste čiste sobe je 1-9. Među njima, klasa 1-5, uzorak strujanja zraka je jednosmjerni ili miješani protok; klasa 6 uzorak strujanja zraka je nejednosmjerni protok i izmjena zraka je 50-60 puta/h; klasa 7 tip strujanja zraka je nejednosmjerni protok, a izmjena zraka je 15-25 puta/h; klasa 8-9 tip strujanja zraka je nejednosmjerni protok, izmjena zraka je 10-15 puta/h.
Prema trenutnim specifikacijama, razina buke unutar elektroničke čiste sobe klase 10.000 ne smije biti veća od 65 dB(A).
1. Puni omjer vertikalnog protoka čiste sobe u elektroničkoj čistoj sobi ne smije biti manji od 60%, a horizontalni jednosmjerni protok čiste sobe ne smije biti manji od 40%, inače će protok biti djelomično jednosmjeran.
2. Razlika statičkog tlaka između elektronički čiste sobe i vanjskog prostora ne smije biti manja od 10 Pa, a razlika statičkog tlaka između čistih i nečistih područja s različitom čistoćom zraka ne smije biti manja od 5 Pa.
3. Količina svježeg zraka u elektroničkoj čistoj sobi klase 10000 trebala bi imati vrijednost sljedeće dvije stavke.
4. Kompenzirajte zbroj volumena ispušnog zraka u zatvorenom prostoru i volumena svježeg zraka potrebnog za održavanje vrijednosti pozitivnog tlaka u zatvorenom prostoru.
5. Osigurajte da količina svježeg zraka koji se dovodi u čistu prostoriju po osobi na sat nije manja od 40 četvornih metara.
Vrijeme objave: 08.04.2024.